在线椭偏仪仪器介绍：在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。技术参数：·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
在线椭偏仪仪器介绍
在镀膜或刻蚀的过程中，实时监测样品膜的膜厚以及光学常数（n,k）变化。
在线椭偏仪技术参数
HORIBA-堀场（中国）贸易有限公司
·可实现快速、实时在线监测样品膜层变化
主要特点
将激发和探测头引入生产设备，可实现:
· 动态模式:实时监测膜厚变化
· 光谱模式：监测薄膜的界面和组分
更多详细信息请关注：在线椭偏仪
http://www.chem17.com/st195664/list_1425230.html
http://www.chem17.com/st195664/product_24120324.html